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瞧瞧場發(fā)射電鏡的一些創(chuàng)新設計吧!

更新時間:2020-11-16      點擊次數(shù):1093
   場發(fā)射電鏡的電子發(fā)射源為冷場,物鏡為半浸沒式,可利用二次電子、背散射電子信號成像來觀察樣品表面形態(tài)。在高加速電壓下,二次電子圖像分辨率為1 nm,背散射電子圖像分辨率3.0 nm。在低加速電壓下,二次電子圖像分辨率為2 nm,有利于觀察絕緣或導電性差的樣品。
  場發(fā)射電鏡配置的主要附件為X射線能譜儀,利用該附件可以在觀察樣品表面微觀形貌的同時進行微區(qū)成分定性和半定量以及元素分布分析。針對不導電樣品,配置高分辨磁控離子濺射儀,可以準確地為樣品噴鍍厚度均勻的導電膜,從而實現(xiàn)該類樣品的電鏡分析。
  場發(fā)射電鏡的創(chuàng)新設計舉例:
  1.電鏡光源
  冷場發(fā)射光源比其他電鏡使用的肖特基熱場發(fā)射光源能量發(fā)射度小,成像時相干性更好,圖像質量大大提高;電子全息附件獲得更好的相干性;成像時更容易匯聚,無論在高壓還是低壓都能獲得高亮度的小束斑,同時空間分辨率提高。
  2.聚光鏡匯聚方式
  傳統(tǒng)的聚光鏡亮度與會聚焦同時控制,有時會相互干擾,無法達到佳狀態(tài)。采用四級聚光鏡且亮度及會聚焦分開控制,很容易獲得追加實驗條件。
  3.物鏡匯聚方式
  物鏡上采用掃描方式,可以獲得范圍的STEM-EELS。
  4.進樣方式
  透射電鏡難和做容易損壞的是手動的進樣方式,新手插拔樣品桿經常造成儀器損壞。新設計樣品桿自動進入和退出,改變了這個容易出問題的環(huán)節(jié),大大提高了儀器的長期穩(wěn)定性。

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